Microsensors: Principles and Applications

     
    
 

               !"#$% &'(  !# ))$ * + ,.

 !/)  

#0  & 1 &234& 2 356 &#))7 80 * 9 +&41 & 04-:;&#))$




   





  
    
           
 
    
   
 
  
  


   





    
                       
! 

        "       #$ %&

'
!(!)#     "      

 
)

 

        " 

* 
+, 

  *           


   





  !     *         #-)!(!) .   ! 

  ( !  !)/ !    "    

   

       




   



    




   




 

    






   

                         




   



  

    







                          

               ! "  "  #"  # " $
%         




   




     

     


    

















!  "





#$  





%



&  '   





( )

















.



          

" 

( "



  


)* $" ( "" " $" +,+-

   



   










                             !  "    #!$  !  "     %&&   ' !((  )*  + & * ,     !)#  $-  )*  .    , /  % (    0  1 ,1 ,2  )*    3     $3 )2 $*4 -     5 2 #!$ 0) 0 !  




   




  
  
                      
          !"    #
      $
    % & !%        #
  
'     '(   &  


   




 












1   1  6&%77***  2 8   #6&%77

,8 #(     6&%77

,8 #(   ,

, $/00 0*'  0 /,6&%77***(98 / ,6&%77&,7: 78       3 ,6&%77

,8      6&%77***  2 8   3 ,6&%77***! 8    ;& 6&%77***24* 8    6&%77&,7: 78




   





 

 




   




       

 




   





    

1 2 




   




 

 
  

 
 !"  #   
 !" $      ⇒          
%& '(      !"   

     )


   




!      

 




   




  ! " # $ %

&"  '( "  # $&" # ) *+"  , " # *+-" ! . . "  ! /0 " 1 ! 20" ) 3 3" 4 5 67,6768 6 '  $9: " 4,,, !', '& 5- " ;9"





   




   &! &)

 




   




   




   




            




   



       




   




        




   



  

    




   



  !  

 




   



    






   



 

" 




   



    






   



     




   



#