Tall Triple-Gate Devices with TiN/HfO2 Gate Stack - IEEE Xplore

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triple gate devices with a MOCVD TiN/HfO2 gate stack. The transistors have physical gate lengths down to 40 nm, and 60 nm tall and 10 nm wide fins. We show ...
7A-2       

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

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108

4-900784-00-1

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2005 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers

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2005 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers

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